Ụgbọ mmiri na-ehicha Quartz Wafer
Ụgbọ mmiri na-ehicha quartz wafer bụ ngwaọrụ eji ihicha wafer na usoro mmepụta semiconductor.
Ihe onwunwe: 99.99% quartz
Nkọwa
Atụmatụ
- Nnukwu okpomọkụ na-eguzogide
- Nguzogide corrosion
- Yiri nguzogide
- Ọ dị mfe ihicha
Jiri: wepụ ihe ndị na-emerụ emerụ n'elu
Gbaa mbọ hụ na nrụpụta nke ibe semiconductor dị.
Ngwa
1. Tupu{1} ihicha mgbasa
A na-eji ebufe wafer site na bench mmiri ma ọ bụ usoro nhicha nke imikpu (dịka ọmụmaatụ, ihicha RCA) iji wepụ ihe ndị na-emerụ emerụ nke organic, metallic na particulate tupu ọ dị elu - okpomọkụ mgbasa ma ọ bụ usoro oxidation.
2. Biputere-CMP (Chemical Mechanical Planarization) nhicha
Na-ejide wafer n'oge mgbasa ozi{{0}na-ehicha ihe na-ehicha ihe iji kpochapụ ihe ndị na-adịghị mma na ntụpọ dị n'elu, na-ahụ na ọ dị mma maka usoro lithography na-esote.
3. N'ihu-Njedebe{2} nke-Akara (FEOL) nrụpụta
Ejiri ya n'ọrụ na ọkwa nhicha FEOL dị oke egwu ebe ultra{0}} ebe dị ọcha chọrọ maka uto oxide ọnụ ụzọ ámá, ntinye epitaxial, ma ọ bụ ntinye ion.
4. Nhazi-Njedebe{2} nke{3}}Line (BEOL)
Na-akwado wafers n'oge mgbasa ozi-etch ma ọ bụ bipute{1}} ihichapụ nkwụnye ego iji wepụ fotoresisist, etch byproducts, na adịghị ọcha ọla ka emechara njikọ.
5. Nkwakọ ngwaahịa dị elu
Na-akwado wafer{0}}ọkwa ihicha tupu dicing ma ọ bụ jikọta na nkwakọ ngwaahịa IC 2.5D/3D, na-ahụ na mmetọ- n'efu maka njikọkọ ndị a pụrụ ịdabere na ya.
6. Mmepụta fotovoltaic
A na-eji ya na mmepụta cell anyanwụ na-ehicha ihe ndị dị na silicon, na-eme ka mma elu dị elu maka mmụba ọkụ ka mma na ngbanwe ike.
Njirimara
|
Njirimara anụ ahụ |
Ụkpụrụ |
|
Ịdị ọcha |
＞99.99% |
|
Njupụta |
2.2g/cm3 |
|
nghọta |
＞90% |
|
Mohs ike |
5.5--6.5 |
|
Ebe nrụrụ |
1280 ogo |
|
Ebe Ntụgharị |
1750 ogo |
|
Ebe na-ekpo ọkụ |
1250 ogo |
|
Okpomọkụ akọwapụtara (20 - 350 ogo) |
670J/n'arọ. ogo |
|
Nrụpụta okpomọkụ (ogo 20) |
1.4W/m. ogo |
|
Nrụpụta ọkụ (w/mk, ogo 1000) |
1.0-1.2 |
|
Ntụgharị uche |
1.4585 |
|
Ọnụọgụ nke Thermal Mgbasawanye |
5.510 -7cm/cm. ogo |
|
Ọkụ na-ekpo ọkụ - na-arụ ọrụ |
1750--2050 ogo |
|
Okpomọkụ ọrụ obere oge - |
1450 ogo |
|
Ogologo oge - okpomọkụ ọrụ |
1100 ogo |
|
Njirimara kemịkalụ |
Ụkpụrụ |
|
Acid na-eguzogide ọgwụ |
Acid siri ike (ma e wezụga HF), alkali siri ike, ngwọta organic |
|
Okpomọkụ dị elu na-eguzogide corrosion |
Magburu onwe |
|
Ọdịnaya adịghị ọcha ọla |
5 ppm |
|
Ngwa eletriki |
Ụkpụrụ |
|
Nguzogide |
7107Ω.cm |
|
Ike mkpuchi |
250 ~ 400kv / cm |
|
Dielectric Constant |
3.7~3.9 |
|
Ọnụọgụ Absorption nke Dielectric |
＜410-4 |
|
Ọnụego ọnụọgụ nke Dielectric Loss |
＜110-4 |
|
Ihe eji arụ ọrụ |
Ụkpụrụ |
|
Ike mkpakọ |
1100MPa |
|
Na-ehulata Ike |
67MPa |
|
Ike ọdụdọ |
48MPa |
|
Oke Poisson |
0.14~0.17 |
|
Modul nke Young |
72000MPa |
|
Shear Modul |
31000MPa |
Ụzọ nhicha
Nhicha imikpu:
Debe wafer n'ime ụgbọ mmiri na-ehicha ihe, wee gbanye ụgbọ mmiri na-ehicha ihe n'ime mmiri na-ehicha ihe, ma mee ka kọntaktị dị n'etiti mmiri na-ehicha ihe na n'elu wafer site na ibuli ụgbọ mmiri wafer iji meziwanye mmetụta nhicha.
ihicha ifesa:
Guzosie ụgbọ mmiri na-ehicha ahụ kwụ ọtọ n'ime ụlọ ebe a na-efesa, ma jiri nozzles fesa mmiri dị ọcha n'elu wafer iji wepụ ihe ndị na-emerụ emerụ. nke
Mkpa ụgbọ mmiri ihicha:
- Gbaa mbọ hụ na ịdị ọcha wafer: Elu wafer dị ọcha dị oke mkpa maka nrụpụta nke ibe semiconductor, ụgbọ mmiri ihicha na-arụkwa ọrụ dị mkpa na usoro nhicha.
- Gbaa mbọ hụ na ntụkwasị obi nke ibe semiconductor: Gbaa mbọ hụ na ntụkwasị obi nke ibe ma belata ntụpọ ngwaahịa site na iwepu ihe ndị na-emerụ emerụ n'elu.
- Meziwanye mkpụrụ nke ibe semiconductor: kwalite ịdị ọcha nke wafers, si otú a kwalite mkpụrụ nke ibe semiconductor.
Ihe nchịkọta dị ọkụ: Ụgbọ mmiri quartz wafer , China quartz wafer na-ehicha ụgbọ mmiri, ndị na-ebu, ụlọ ọrụ
Zipu ozi
Might nwekwara ike-amasị
